Киреев В.Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство

Авторы: 
Киреев В.Ю.
Наименование: 
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
Тип издания: 
учебное пособие
Место издания: 
Долгопрудный
Издательство: 
Интеллект
Год издания: 
2016
Количество страниц: 
320
Аннотация: 
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 «Нанотехнология в электронике», 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника», 222900 «Нанотехнология и микросистемная техника», 210600 «Нанотехнология», 210100 «Электронное машиностроение», а также для инженеров и научных работников.
Имеются экземпляры в отделах: 
Читальный зал № 2
Абонемент №2